通常所說的高純水也稱超純水，其定義不是很明確的，但一般都是指電阻率在10MΩ·cm以上的純水，同時，還要考慮到水中含有的微粒、微生物、有機物、溶解的氣體等等。另外，高純水不僅僅應(yīng)用于電子工業(yè)，還廣泛應(yīng)用于制藥工業(yè)、化學(xué)試劑工業(yè)，以及火力、原子能發(fā)電站的鍋爐用水等方面。
　　當然，在這些領(lǐng)域中應(yīng)用的高純水，在水質(zhì)要求上是有一些不同的。例如在制藥工業(yè)以及在火力發(fā)電站的某些應(yīng)用中，對水中溶解氧的含量要求就很嚴格。所以所謂的高純水，就是按照各自的目的和用途的不同，對某些特定的不純物進行過高度提純的純水。
　　其中，電子工業(yè)對高純水水質(zhì)的要求是最嚴格的。
　　存在于水中的雜質(zhì)不僅有電解質(zhì)，還有微粒、微生物、溶解氣體等，但由于通常水中溶解的物質(zhì)大部分是電解質(zhì)，因而，通過測量水中溶解離子的量就可以確定水的純度。溶解離子的量可以通過測定電導(dǎo)率來衡量，所以水的純度可用電導(dǎo)率表示。電子工業(yè)中用水的純度多用電導(dǎo)率的倒數(shù)，即電阻率表示。
　　當水中含有電解質(zhì)時，電導(dǎo)率隨電解質(zhì)含量的不同而變化。這是因為電解質(zhì)溶在水中成為離子，離子運載電流，而運載的電流量則隨離子含量的變化而變化。
　　一定量的某種離子運載的電流量，，可以作為該種離子的電導(dǎo)率求出。
　　微粒是指砂粒、鐵銹等氧化鐵及其它金屬物質(zhì)等不溶性微粒而言。高純水中所說的微粒是指小于1μm的膠體顆粒，也包括微生物及其尸體、碎片等。
　　成為電子工業(yè)用高純水處理對象的微粒，其大小因其使用的場合不同而由差別。一般是指0.2μm左右的粒子。
　　在測量時，微生物是作為一種水中微粒計數(shù)的。但是，由于從數(shù)量上它占有了水中微粒的大部分，而且，它本身還能不斷增殖。條件具備時，增殖特別快。
　　高純水制造過程中，要去除的主要對象是細菌類、原生動物、霉菌藻類等。而自來水、工業(yè)用水的標準或高純水的水質(zhì)保證中僅給出細菌中的“一般細菌”。所謂的“一般細菌”就不包括某些特定的細菌。而是指在水質(zhì)實驗法等規(guī)定的實驗條件下能再普通的瓊脂培養(yǎng)基中培養(yǎng)形成群落的那些菌種。即是說，一般細菌數(shù)所表示的并不是水樣中的微生物，而僅僅是符合實驗條件的菌類的數(shù)目。所以，在普通的瓊脂培養(yǎng)基中不能形成群落的菌類可能是形成群落的菌類的數(shù)十倍甚至數(shù)千倍之多。當然，通常隨著一般細菌數(shù)目的增加或者減少，其他的細菌也會增加或減少。所以可以把一般細菌作為菌類污染的指標。